靶材是制備薄膜的主要材料之一，被廣泛應用于電子及信息產業(yè)，如液晶顯示屏、集成電路、平板顯示等等，對材料的純度和穩(wěn)定性要求較高。更換不同的靶材，即可得到不同的膜系。巨偉鈦業(yè)給大家將靶材安裝的注意事項，分享如下：

1、注意建立導熱鏈接

靶材在安裝過程中，特別要注意的一點是要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發(fā)生開裂或彎曲，背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響，導致在濺射過程中熱量無法散發(fā)，以至于會造成靶材開裂或脫靶。為確保足夠的導熱性，可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意要仔細檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度，同時確保密封圈始終在位置上。

2、注意清理污垢

安裝靶材時，要注意清理產生的污垢。所使用冷卻水的潔凈程度與設備設備運行過程中可能會產生污垢，這些污垢會會沉積在陰極冷卻水槽內，所以在安裝靶材時需要對陰極冷卻水槽進行檢查和清理，確保冷卻水循環(huán)的順暢和進出水口不會被堵塞。有些陰極設計與陽極的空隙較小，所以在安裝靶材時需要確保陰極與陽極之間沒有接觸也不能存在導體，否則會產生短路。

3、注意短路及密封性檢查

在靶材安裝完成后，注意需要對整個陰極進行短路檢查及密封性檢查。此想檢查可以通過使用電阻儀搖表的方式對陰極是否存在短路進行判斷。在確定陰極不存在短路后，可以進行檢漏檢查，將水通入陰極確定是否存在漏水現(xiàn)象。

結合上述內容可以知道，靶材安裝的注意事項主要有三點，在安裝過程中要注意確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立導熱連接，注意清理冷卻水及運行產生的污垢，靶材安裝完成后要注意短路及密封性的檢查。安裝完成后在收緊靶材夾具時，請先用手轉緊一顆鏍栓，再用手轉緊對角線上的另外一顆鏍栓，如此重復直到安裝上所有鏍栓后，再用工具收緊。寶雞巨偉鈦業(yè)有限公司是一家研發(fā)生產鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶、鈦鋁靶、鈦絲、鈦加工件、鈦鍛件等金屬材料為主的高新技術企業(yè)，十余年專注于濺射靶材、鍍膜靶材、平面多弧靶材研發(fā)、生產，靶材組織結構均勻、濺射成膜性能優(yōu)異，如果您對靶材有疑問或需要，歡迎聯(lián)系巨偉鈦業(yè)。

相關鏈接